超声波清洗机清洗配备的使用领域越来越遍及，各种通过不时和改进的别致超声波清洗配备正在替代已面市的新式配备。兆赫超声波清洗技能是指选用频次700KHz—2MHz的超声波停止清洗。清洗琐细一般由压电换能器摆设、清洗容器和清洗液、高频电功率发生器及把握电路等构成，对于某些特定的清洗目标，有时还配有热气氛烘干、共用清洗架(篮)及清洗液的过滤循环琐细。目前，国外市场上已有商用的兆赫超声波清洗机。美国Verteq、Imtec、ProSys公司已开宣布这类设备用于半导体出产线上，在对100—300mm硅片的清洗中，可除掉硅片表面上小到0．15μm的细小颗粒，并且可加快漂洗过程并有效地阻挠粒子在硅片表面上从头附着。

　　近10年来，超声波清洗机正执政两个方面开展。其一是，各种类型的多缸或传动链式或升降式超声清洗出产线相继面市；其二是，低频超声波清洗机向高频超声波清洗机的开展。在美国、日本、欧洲以及亚太市场上，多缸式超声波清洗机总量已呈明显上升之势，高达总量的50％，而多工位半自动、全自动传动链式或升降式超声波清洗线体设备也已上升到总量的40％以上。

　　使用超声波清洗机能破坏污物与淸洗件表面的吸附，还能引起污物层的疲劳破坏而被剥离，气体型气泡的振动对固体表面进行擦洗，污层一旦有缝可钻，气泡立即“钻入”振动使污层脱落，由于空化作用，两种液体在界面迅速分散而乳化，当固体粒子被油污裹着而粘附在淸洗件表面时，油被乳化，固体粒子自行脱落，超声在淸洗液中传播时会产生正负交变的声压，形成射流，冲击清洗件，同时由于非线性效应会产生声流和微声流，而超声空化在固体和液体界面会产生高速的微射流，所有这些作用，能够破坏污物，除去或削弱边界污层，增加搅拌、扩散作用，加速可溶性污物的溶解，强化化学淸洗剂的淸洗作用。